"Τεχνολογία Μικρομηχανικής παχέων πολυμερικών υμενίων με χρήση λιθογραφίας δέσμης πρωτονίων (HARM.PB)."

     Τα τελευταία χρόνια μικροσυστήματα όπως κεφαλές εκτυπωτών ψεκασμού, μικροαισθητήρες κλπ. ενσωματώνονται ευρύτατα σε εμπορικά προϊόντα των περισσοτέρων βιομηχανικών κλάδων, ενώ τα νέα πεδία εφαρμογής τους αυξάνονται ταχύτατα. Η κατασκευή νέων προϊόντων και η περαιτέρω σμίκρυνση των κλασικών μικροσυστημάτων απαιτεί την επίλυση σημαντικών τεχνολογικών προβλημάτων γεγονός που προκαλεί μια διεθνώς αυξανόμενη ερευνητική προσπάθεια. Μια από τις σημαντικότερες τεχνολογικές προκλήσεις είναι η βελτιστοποίηση των διαδικασιών κατασκευής τρισδιάστατων μικροσυστημάτων. Αυτά τα τρισδιάστατα μικροσυστήματα βασίζονται σε δομές πολύ παχύτερες από τις συνήθως κατασκευαζόμενες με μικρολιθογραφία. Το έργο αυτό εστιάζεται στην ανάπτυξη και βελτιστοποίηση ολοκληρωμένης τεχνολογίας λιθογραφίας κατάλληλης για κατασκευή τρισδιάστατων δομών με πάχος 10 - 50μm με χρήση δέσμης πρωτονίων και ρητινών χημικής ενίσχυσης φιλικών προς το περιβάλλον. Στη συνέχεια η τεχνογνωσία χρησιμοποιήθηκε για τη κατασκευή πρωτότυπων διατάξεων. Η επιτυχία του έργου πιστοποιήθηκε από:

• Την υλοποίηση δομών ρητίνης με λόγο Υ/Π>10 σε υπόστρωμα Si και την επιτυχή μεταφορά του γεωμετρικού σχεδιασμού.

• Την κατασκευή πειραματικών διατάξεων κατάλληλων για μικρομηχανικές εφαρμογές όπως γρανάζια κλπ.

     Στα πλαίσια του προγράμματος πραγματοποιήθηκαν οι  εξής δημοσιεύσεις σε διεθνή περιοδικά με σύστημα κριτών:

[1] Proton beam micromachining on strippable aqueous base developable negative resist.

I.Rajta, E.Baradács, M.Chatzichristidi, E. S. Valamontes, I.Uzonyi, I. Raptis

Nucl. Instr. and Meth. B 231/1-4, 423, (2005).

[2] Proton Beam Micromachined Buried Microchannels in Negative Tone Resist Materials.

I. Rajta, M. Chatzichristidi, E. Baradács, C. Cserháti, I. Raptis, K. Manoli,E. S. Valamontes

Nucl. Instr. and Meth. B 260 (2007) 414-418.