"Βελτιστοποίηση του τρόπου μεταφοράς γεωμετρικού σχεδιασμού στα ενεργά υμένια  των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με λιθογραφία και εγχάραξη."

      Στην κατασκευή των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (Ο.Κ.) η παγκόσμια τάση, τόσο σε επίπεδο έρευνας όσο και σε επίπεδο παραγωγής, είναι η σμίκρυνση των διαστάσεων των δομικών στοιχείων, ώστε να επιτυγχάνεται βελτίωση της λειτουργικότητας. Για τον σκοπό αυτό είναι απαραίτητη η ανάπτυξη νέων υλικών, διεργασιών και συστημάτων έκθεσης προς την κατεύθυνση της καλύτερης διακριτικής ικανότητας.

      Το έργο στοχεύει στην βελτιστοποίηση του τρόπου μεταφοράς γεωμετρικού σχεδιασμού στα ενεργά υμένια των Ο.Κ. με λιθογραφία και εγχάραξη, τελειοποιώντας τόσο τα υλικά όσο και τις διεργασίες που χρησιμοποιούνται. Η τεχνολογία, την οποία αναπτύξαμε, μπορεί να υλοποιήσει διατάξεις με κρίσιμη διάσταση 100nm.

       Στα πλαίσια του έργου μελετήθηκαν:

• νέα πολυμερικά υλικά για τη χρήση τους σε τεχνολογίες λιθογραφίας πολύ υψηλής διακριτικής ικανότητας.

•  η εγχάραξη πολυμερικών υλικών μικρολιθογραφίας σε ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος με σκοπό την κατασκευή μικρο και νανοδομών.

    Τα αποτελέσματα που προέκυψαν από τις παραπάνω μελέτες οδήγησαν στην ανάπτυξη λογισμικού για την προσομοίωση της διεργασίας της λιθογραφίας ηλεκτρονικής δέσμης για την υλοποίηση δομών < 100nm.

      Στα πλαίσια  του προγράμματος  πραγματοποιήθηκε  η εξής δημοσιεύση σε διεθνές περιοδικό με σύστημα κριτών:

[1] Proton Beam Micromachined Buried Microchannels in Negative Tone Resist Materials.

I. Rajta, M. Chatzichristidi, E. Baradács, C. Cserháti, I. Raptis, K. Manoli, E. S. Valamontes

Nucl. Instr. and Meth. B 260 (2007) 414-418